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EJA變送器原理要点

 
   EJA變送器是采用单晶硅传感器的高品质的电子差压變送器,适用于液体、气体或蒸汽的流量以及液位、密度和压力测量。
       1、 EJA變送器結構原理單晶矽諧振傳感器的核心部分,即在一單晶矽芯片上采用微電子機械加工技術(MEMS),分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀、大小完全一致的H形狀的諧振梁(H型狀諧振器有兩個振梁),且處于微型真空腔中,使其即不與充灌液接觸,又確保振動時不受空氣阻尼的影響。
  2、 谐振梁振动原理 硅谐振梁处于由长久磁铁提供的磁场中,与变压器、放大器等组成一正反馈回路,让谐振梁在回路中产生振荡。
  3、 受力情况 当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时将产生形变,中心处受至压缩力,边缘处受到张力,因而两个形状振梁分别感受不同应变作用,其结果是中心谐振梁受压缩力而频减少,边侧谐振梁因受张力而频率之差对应不同的压力信号。

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